匀胶机/旋涂机/甩胶机/Spin Coater或者Spin Processor
匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。主要用于液体，胶体在材料表面薄膜的形成，适用于硅片，晶片，玻璃，柔性基底、陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研，教育，生产中应用。
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(一)品牌: Schwan technology
常用款
(二) 品牌: 微电子所
产品特点:
体积小，重量轻，操作方便. 特点是双转速匀胶机，两档转速及其匀胶时间分别连续调节，在启动后先低速运转，经几秒钟后自动转换到高速运转。KW型匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺。稳定的转速和快速的启动，可以保证胶厚度的一致性和均匀性.
性能参数:
Ⅰ档转速：4A型 500－2000转/分；5型 500-1000转/分
Ⅰ速匀胶时间：2－18秒
Ⅱ档转速：4A型 1300－8000转/分；5型 900-5000转/分
Ⅱ速匀胶时间：3－60秒
2．LED数字显示，转速稳定度±1％，胶的均匀性4A型±3％、5型
±5％。
3．KW-4A型采用永磁电机，转子用开关电源调速，转速在
1000－8000转/分范围内非常稳定。KW-5型采用变频调速，转速在5000
转/分以内稳定工作。
4．电机功率：4A型40W；5型180W。
5．适用于4A型 φ5至φ100mm；5型φ100至φ200mm硅片及其它材
料等匀胶。
